夹具( Carrier)

双面研磨拋光用夹具及单面机用夹具操作组件等。
SPEEDFAM提供多种多样夹具规格，可因应使用用途来选择。
藉由卓越孔穴加工精度，提高工件的精度。不规则的孔穴特殊夹具亦可提供订作。
拋光垫片( Polishing Pad )

SPEEDFAM拋光用垫片 " POLITEX SUPREME PAD "，纤细柔软，基底以细微层(Micro Layer)为主，耐用性佳寿命长。
聚氨酯 ( Polyurethane)的表面有数百万个相连的微细气孔使拋光材能发挥拋光效率 。
Supreme Pad 在半导体业界多被运用在化学与机械配合方式进行拋光，在此业界有很高的评价。

研磨粉( Lapping Powder )

SPPEDFAM的研磨粉配合被加工的材质及要求的精度，有下列推荐产品 :
GC (绿色碳化硅) 适合坚硬超精密研磨。
C (黑色碳化硅) 适合低张力及较脆硬材质研磨。
WA (白色氧化铝) 适合钢质精密加工。
A (氧化铝) 适合柔软性材质研磨。
FO (光学级研磨材) 适合于Si半导体及化合物芯片等高精密表面要求的加工物研磨。
 软式研磨砥石( PVA Stone )

在软式研磨加工上发挥威力的研磨砥石，可符合愈来愈多高精度要求的陶瓷片， 精密铝组件的研磨。
  双面研磨定盘&修正齿轮( Double Side Lapping Plate & Condition Carrier)
SPEEDFAM双面研磨定盘及修正齿轮材质，采用纯度极高的铸造原材料，球状石磨分布均匀 ,耐磨性佳。
为因应高精密加工而铸造加工，是搭配双面研磨机时最佳的耗材配备 。
单面研磨定盘&修正环(FAM Lapping Plate & Condition Ring)

SPEEDFAM单面研磨定盘及修正环材质。
采用特殊高精密的合金原材料(SPEEDALLOY)制成 , 硬度 ( 约 HRc 58) 分布均匀，耐磨性佳，是搭配SPEEDFAM单面研磨机时最佳的耗材配备 。
钻石液( Liquid Diamond )

选用SPEEDFAM钻石液可在硬式拋光中得到最大的加工效率 。
钻石液中使用特殊的分散剂及严格挑选粒度分布佳的钻石粉， 液体内钻石粉粒不易成沉淀并分散均匀，是高精度硬式拋光的耗材选择 。
拋光剂( Polish Slurry )

针对不同的材质及加工精度，SPEEDFAM 可提供最佳的建议，欢迎来电洽询 。