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联络人 Jeff Teng
+886-3-5983411 # 665
jeff-teng@speedfam.com.tw
32/36SWM半自动上蜡机
规格
适用block直径:305 / 355 mm
支援2、4吋晶圆
人机介面
机器尺寸:W 1,110*D 1,520*H 1,920 mm
机器重量:1,000 KG
适用电源:220 V
档案下载
886-3-598-3411 #667
jerry-peng@speedfam.com.tw
特色说明
应用
范例
广泛用于2、4吋晶圆上蜡贴片制程,如SiC、Sapphire、silicon等工件,执行快速贴片,有效控制蜡厚均匀性,搭载人机介面设定、点选配方,一键启动。
123
•范例1
•范例2
•范例3
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