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联络人 Jeff Teng
+886-3-5983411 # 665
jeff-teng@speedfam.com.tw
50B单面研磨/抛光机
规格
研磨盘外径:1282mm
加压板直径:485mm
加压板数量:4SETS
加压方式:空压缸加压
加压板独立驱动:有
人机介面:可选配
机器尺寸(mm):W 1,670 * D 2,394 * H 2,858 mm
机器重量:5600 Kg
适用电源:220V
档案下载
886-3-598-3411 #667
jerry-peng@speedfam.com.tw
特色说明
应用
范例
适用于大尺寸矽晶圆、蓝宝石晶片抛光材料抛光制程,人机介面方便操作,本体加强支撑杆设计,稳定性更高。
8、12 inch矽晶片
4、6inch蓝宝石基板
silicon wafer
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