为了改善工件表面粗糙度，需要使用抛光制程将表面精致化，经抛光后工件表面可达镜面无刮痕，一般来说会搭配适合的抛光垫一并使用。

依不同产品区别，可应用于各类晶圆工件，如Sapphire、silicon、SiC、III-V族、金属或非金属类、Ceramic、Glass、石英等等。