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联络人 Jeff Teng
+886-3-5983411 # 665
jeff-teng@speedfam.com.tw
36B单面抛光机
规格
研磨盘外径:914mm
加压板直径:355 / 360 mm
加压板数量:4SETS
加压方式:空压缸加压
加压板独立驱动:有
人机介面:可选配
机器尺寸(mm):W 1,322 * D 2,210 * H 2,460 mm
机器重量:4200 Kg
适用电源:220 V
档案下载
886-3-598-3411 #665
jeff-teng@speedfam.com.tw
特色说明
应用
范例
采用特制MR铜盘/SUS精修抛光盘,能抛光加工至高精度平面度与面粗度、突破一般铜盘抛光速度、缩短加工时间、亦能将工件的尺寸公差、平行度等保持在特殊要求的精度范围内。
独特之平坦度Facing控制系统,加工同时可控制平坦度,确保加工精度。
盘面缓慢启动及缓慢停止装置,解决工件龟裂、破损、崩角等问题。
硬抛机对超硬蓝宝石有极高且稳定移除率达超过3 um/min。
拥有四轴独立的驱动功能,性能更胜以往的机种。
美、日原厂近50年专业技术,在台生产,提供完整加工技术服务。
最大支援8 inch晶圆进行硬抛(铜抛) / 软抛(化抛)制程。
LED后端薄化抛光制程标准机。
新世代半导体SiC抛光专用机。
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