產品介紹-SPEEDFAM創技工業

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輪磨加工設備

雙軸式自動輪磨機

雙軸式自動輪磨機

規格

規格型號：FSG 2200 / FSG 2300
對應工件尺寸：8 inch / 12 inch
設備尺寸：W 1,700 * D 3,700 * H 2,100 mm
機器重量：5,500 KG
主電源：380 V , 3相 , 4線 75A
雙主軸功率：˙7.5kw

886-3-598-3411 #665

jeff-teng@speedfam.com.tw

承襲BSG精密加工技術，在台研發組裝。
適用標準 8 / 12吋 cassette
透過S1、S2 雙主軸分段作業，提高質量及生產穩定性
自動調整傾角，完善晶圓形貌。

標準人機屏幕，藉由直觀式視覺設計，簡化操作員作業。
除人機介面外，還搭載無線平板電腦，引領業界，不受傳統接線限制，可攜帶隨時移動到設備各個角落實時操作，令生產、維護作業零死角。

適用8 / 12英吋晶圓。
可搭配carrier bonding / 貼膜製程進行快速薄化作業。
reclaim製程。
高硬度材質薄化專用機(EX:SiC、Sapphire)。
第三代半導體。
BGBM / IGBT。

8"、12" Silicon wafer。
sapphire晶片。
化合物半導體晶片，EX: GaAs。
SiC PW / BG process。

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	地址	新竹縣湖口鄉光復南路56號
	電話	886-3-598-3411
	Email	jeff-teng@speedfam.com.tw