SpeedFam單面機的基礎源自於FAM處理。 FAM是一種高效的技術，其中磨料顆粒自由流過研磨盤表面達到工件切削效果，搭配特殊置具可進而追求表面更水準平坦度。而硬抛、化拋等高精度的製程，更可將FAM的加工技術昇華，將工件外觀處理至鏡面。