為了改善工件表面粗糙度，需要使用拋光製程將表面精緻化，經拋光後工件表面可達鏡面無刮痕，一般來說會搭配適合的拋光墊一併使用。

依不同產品區別，可應用於各類晶圓工件，如Sapphire、silicon、SiC、III-V族、金屬或非金屬類、Ceramic、Glass、石英等等。