針對Mini/Micro LED藍寶石基材減薄,採用七片式36BSG-VF-COX自動化流程,從陶瓷盤上料→研磨→量測→清洗→下料,全自動一站式流程,無間斷連續投料,大幅提升產出效率並降低人力需求,同時有效防止投料與加工錯誤,是一套針對生產效率與製程優化的完整解決方案。
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| 36BSG-VF-COX | 自動取放料 | 自動刷洗 |
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隨著數位工業 4.0技術的興起,生產者需要全新、高效的方式與機器協力合作來提升產業競爭力,於是自動化生產已成為未來不可或缺的條件,輔以工業物聯網 (IIoT)、雲端連線、AI 和機器學習等技術已深深地編織在製造流程中。這種整合統一的製造方式,使得產品、工廠和資產相互聯繫、智能化。 SPEEDFAM在藍寶石領域投入了超過20年的技術積累與研發,為了有效整合流程一體化、解決人力短缺、降地生產成本、優化製程表現等問題,我們結合過去成熟的加工方案推出全系列自動化的系統整合,讓傳統依賴人力上下料的工作變得簡單有效率。
#適用範圍 4 / 6 inch sapphire wafer #Back Side LED / GaAs紅光製程 |