化合物半導體有其材料獨特性，非常適合用於目前一些近年來的新技術應用

而且是矽半導體難以達到的規格，比如近年來發展的 5G 、甚至未來的 6G技術

毫米波、太赫茲通訊的功率放大器、功率轉換元件、光通訊元件、光電元件等等。

在chip生成中，薄化製程也佔有重要環節，而Speedfam具有一系列高度平坦化、可靠穩定性佳的解決方案。

15MS	15BT	32BSG-V

功率放大器、功率轉換元件、光通訊元件、光電元件等等，生成這些元件各自有其對應的材料，包括氮化鎵(GaN)、磷化銦(InP)、或發展成熟的砷化鎵(GaAs)。

#砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)、氮化鎵(GaN)、III-V族晶片

#氧化鎵(Ga2O3)、碲化鎘(CdTe)、碲鋅隔(CZT)等其他化合物半導體

#功率元件、光通元件、雷射二極體、光電元件